516453 产品规格书
516453 产品规格书
产品信息
弹簧型模块式主动减振器 模块尺寸800×200×117mm
产品编号：516453
产品描述
模块式设计，能适用于更多需要安装配置的场合，外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型，弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备，消减大质量滑块运动带来的振动；半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。
规格参数
- 模块尺寸 800×200×117mm
- 单个负载能力 400kg
- 减振性能 60%@2Hz,99%@10Hz
- 传递率 —
- 隔振范围 1-1000Hz
- 减振器共振频率 —
- 调平方式 手动调平
- 控制自由度 3轴6自由度
- 执行器 音圈电机
- 最大推力 垂向：6N,水平向：3N
- 稳定时间 0.3s
- 电源 AC220V/50Hz
- 安装方式 推荐两端对称、矩形布置
- 减振器工作气压 —
- 机械硬限位 —
- 重量 150kg
关于产品
1. 产品图均为渲染效果图，仅供参考。
2. 在购买夹持光学元件镜架时，请确定元件的尺寸及厚度，确保匹配。
3. 采购光学平台等产品，请联系我们确认搬运及安装事项。
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