SK-1300系列在光学特性方面是最先进的技术,因为它提供了很高的分辨率紫外线透射,无微夹杂,耐日晒,此外还具有耐热性、机械强度和耐化学性。 这些产品可用于半导体、光学和所有物理或化学相关研究的各种工业应用。
可用于: 各种器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶体管LCD)、SOI(绝缘硅)等;超大规模集成电路和液晶显示器用光掩模基板;ULSI制造工艺用反应器炉管、夹具和工具;放电管;用于紫外和真紫外的光学元件,透镜,反射镜,窗口。
产品特点
1. 超高纯度(总金属杂质小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下((SK-1310);
3. 确保高耐热性;
4. 实现高传输(SK-1310在紫外线、可见光和红外的整个波长范围内都具有优异的特性);
5. 不含气泡或条纹;
6. 优异的抗激光性能

等级 | 最大尺寸(mm) | 条纹1) | 均匀性2) | 双折射2) (nm/cm²) |
气泡杂质3) (mm²/100cm³) |
荧光4) | 最佳透过范围(nm) (>80%) |
SK-1300 | Φ850 xt150 | Class 1 Grade"A" |
NS | ≤10 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1320L5) | Φ600 xt100 | Class 1 Grade"A" |
NS | ≤5 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1321 | Φ500 xt150 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1321L5) | Φ500 xt100 | Class 1 Grade"A" |
1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1322 | Φ500 xt150 | Class 3 Grade"A" |
3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1322L5) | Φ500 xt100 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 无 | 170~2500 |
SK-1310 | Φ600xt150 | Class 1 GradeHA" | NS | 未标明 | 0 ~ 0.03 | NS | 185~2700 |
NS: Not Specified
备注:
1) MIL-G-174定义
2) 有效面积为直径的90%。可根据要求提供高均匀性和双折射
3) 包含符合DIN58927定义的“A”级。
4) 能量密度≤30mJ/cm²入=248nm。可根据要求使用高能激光。
5) 耐久性∶30 mJ/cm²·200次激发后,≤0.1%/cm 在λ=248nm条件下,
High Quality Silica Glass | SK1300 | SK1310 | ||
光学品质 | 气泡 | 0~0.03mm²/100cm³ | 0~0.03mm²/100cm³ | |
纹理 | 保证一个方向测定为等级A(MIL-G-174) | 保证一个方向测定为等级A(MIL-G-174) | ||
应力双折射 | 10nm/cm以下 | 10nm/cm以下 | ||
荧光 | 无(激发波长254nm) | / | ||
物理特性 | 密度 | 2.2g/cm³ | 2.20g/cm³ | |
杨氏模量 | 71.4GPa | 71.6GPa | ||
扭转刚度 | 30.9GPa | 31.4GPa | ||
泊松比 | 0.17 | 0.17 | ||
抗压强度 | 1.1GPa | 1.1GPa | ||
抗弯强度 | 69MPa | 69MPa | ||
抗拉强度 | 55MPa | 55MPa | ||
维氏硬度 | 8.8~10.1GPa | 8.8~10.1GPa | ||
努普硬度 | 6.4~7.0GPa | |||
热膨胀系数 | 5.5×10-7/K | 5.5×10-7/K | ||
软化点 | 1700℃ | 1700℃ | ||
徐冷点 | 1160℃ | 1160℃ | ||
应变点 | 1060℃ | 1060℃ | ||
比热(26℃) | 0.74KJ/kg·K | 0.74KJ/kg·K | ||
热传导率 | (26℃) | 1.1W/m·K | / | |
(100℃) | 1.4W/m·K | / |

SK1310光谱曲线

SK-1320L, SK-1321, SK-1321L, SK-1322, SK-1322L光谱曲线

内部透过率
Grade | 内部透射率(%/cm) | OH 含量(ppm) | 其他杂质 (ppm) | |||||||
193nm (ArF) |
248nm (KrF) |
365nm (i) |
588nm (d) |
633nm (He-Ne) |
1060nm | 1530nm | 2325nm | |||
SK-1300 | ≥99.7 | ≥99.9 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤0.05 |
SK-1320L | ≥99.7 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤O.05 |
SK-1321 | ≥9.7 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤0.05 |
SK-1321L | ≥99.7 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤0.05 |
SK-1322 | ≥99.7 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤0.05 |
SK-1322L | ≥99.7 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥9.9 | ≥99.9 | ≥99.4 | ≤200 | ≤0.05 |
SK-1310 | ≥98.8 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.9 | ≥99.8 | ≤1 | ≤0.05 |
我公司有两种类型的手册: 光学器件&光电仪器手册 和 视觉成像手册
光学器件&光电仪器手册:手册中的产品包括有:光学元件、激光元件、光机元件、运动控制、成像元件、光源&激光光源、光电器件、测量仪器、光学材料等。除了这些标准产品外,还提供大尺寸超精密平面光学元件定制、球面光学定制、非球面光学定制、成像镜头设计定制、光学设计定制以及精密角度元件定制。
视觉成像手册:手册中的产品包括有:定焦镜头、远心镜头、变焦变倍镜头、线扫镜头、短波近红外镜头(SWIR)、360°外侧环视镜头、VIS-NIR镜头、中继镜、增距镜,远红外镜头、相机等。除了标准镜头产品外,还提供镜头的设计与开发。
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